顧客承認の非工程表面、装置外装、作業台、通路
KOREA TOTAL SERVICE / PROFESSIONAL SERVICES
半導体ライン・クリーンルーム専門清掃
汚染管理と承認範囲を合意し、指定資材・動線・作業記録で生産環境管理を支援します。
写真を添付して見積依頼 ↗作業前作業後

対象と作業範囲
床、壁、エアロック、更衣動線
二重床上面と承認された床下点検範囲
ユーティリティ、サブファブ、搬入・工事後区域
チャンバー、ウェーハ接触面、ガス・薬液内部は別専門範囲
診断から引渡しまで
診断 → 範囲合意 → 試験 → 作業 → 検査 → 維持管理
- 顧客SOP、区域区分、入場、保安、静電気対策、禁止条件を確認。
- 区域、時間、停止要否、検収担当を確定。
- 承認済み低発じんワイパー、道具、薬剤、吸引装置の搬入手順を適用。
- 道具を区分し汚染移動を抑える合意順序で作業。
- 承認された拭き・吸引方法で残留物と水分を管理。
- 合意した目視・拭取り・粒子・残留検査を記録し異常を引き渡し。
検査・結果報告
- 教育、入場、資材承認、区域作業の記録
- 道具区分、残留、水分、発じん源
- 粒子・残留検査は顧客指定方法と基準で別途確定
- 検査、再作業、顧客承認記録
範囲と適用条件
- 未承認の一般工場薬剤をクリーンルームや装置に使用しません。
- 写真の見た目だけで清浄度区分や歩留まり改善は証明できません。
- チャンバー、ガス・薬液内部、ウェーハには別承認手順が必要。
- 不明な工程残留物は同定とリスク評価後に対応。
- 認証・取引実績・保証は検証資料に基づいて提示。
見積りに必要な情報
- ライン、区域、面積、高さ、保安上許可された写真・図面
- SOP、許可資材、入場教育、静電気条件
- 稼働・停止日程とエネルギー遮断責任
- 検査方法、基準、測定・検収責任範囲
現場写真からご相談ください
全体と近接写真、面積、材質、操業条件を送付してください。受付番号とパスワードでお問い合わせと写真を確認できます。
写真を添付して見積依頼 ↗技術参考資料
一般的な技術参考資料であり、提携・施工資格・認証を意味しません。採用製品の資料と顧客手順に従い仕様を確定します。