Vệ sinh dây chuyền bán dẫn và phòng sạch

Phạm vi công việc

• Bề mặt ngoài quy trình và khu hỗ trợ được phê duyệt.
• Lối đi, sàn, tường và ngoại thất thiết bị trong phạm vi cho phép.
• Bên trong thiết bị công nghệ là phạm vi chuyên môn riêng.

Quy trình hiện trường

1. Xác nhận cấp sạch, vùng và hạn chế vật liệu.
2. Duyệt đồ bảo hộ, dụng cụ, hóa chất và quy trình di chuyển.
3. Làm sạch có kiểm soát theo vùng và trình tự được phép.
4. Ghi nhận, kiểm tra tiêu chí hạt hoặc dư lượng theo yêu cầu khách hàng, bàn giao.

Kiểm tra và báo cáo

• Ảnh trước/sau tại cùng vị trí; ghi đối tượng làm và loại trừ.
• Biên bản vật liệu, công đoạn, điều kiện hiện trường và bất thường.
• Quản lý chất thải, dư lượng và vệ sinh sau thi công.
• Tiêu chí nghiệm thu và quyền đưa vào vận hành thống nhất với khách hàng.

Điều kiện và giới hạn

• Không tự mở hoặc tháo thiết bị công nghệ.
• Không mặc định mọi sản phẩm ít bọt là phù hợp phòng sạch.
• Không công bố chứng nhận hoặc kinh nghiệm dự án chưa kiểm chứng.

Thông tin để báo giá

Địa điểm, diện tích, vật liệu, ảnh, lịch, trạng thái vận hành, yêu cầu kiểm tra và thời gian dừng.