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KOREA TOTAL SERVICE / PROFESSIONAL SERVICES

半導体ライン・クリーンルーム専門清掃

汚染管理と承認範囲を合意し、指定資材・動線・作業記録で生産環境管理を支援します。

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作業前作業後
半導体ライン・クリーンルーム専門清掃 · 作業前 / 作業後
AIによる仮想作業例です。実績、測定性能、結果保証を示すものではありません。

対象と作業範囲

01

顧客承認の非工程表面、装置外装、作業台、通路

02

床、壁、エアロック、更衣動線

03

二重床上面と承認された床下点検範囲

04

ユーティリティ、サブファブ、搬入・工事後区域

05

チャンバー、ウェーハ接触面、ガス・薬液内部は別専門範囲

診断から引渡しまで

診断 → 範囲合意 → 試験 → 作業 → 検査 → 維持管理

  1. 顧客SOP、区域区分、入場、保安、静電気対策、禁止条件を確認。
  2. 区域、時間、停止要否、検収担当を確定。
  3. 承認済み低発じんワイパー、道具、薬剤、吸引装置の搬入手順を適用。
  4. 道具を区分し汚染移動を抑える合意順序で作業。
  5. 承認された拭き・吸引方法で残留物と水分を管理。
  6. 合意した目視・拭取り・粒子・残留検査を記録し異常を引き渡し。

検査・結果報告

  • 教育、入場、資材承認、区域作業の記録
  • 道具区分、残留、水分、発じん源
  • 粒子・残留検査は顧客指定方法と基準で別途確定
  • 検査、再作業、顧客承認記録

範囲と適用条件

  • 未承認の一般工場薬剤をクリーンルームや装置に使用しません。
  • 写真の見た目だけで清浄度区分や歩留まり改善は証明できません。
  • チャンバー、ガス・薬液内部、ウェーハには別承認手順が必要。
  • 不明な工程残留物は同定とリスク評価後に対応。
  • 認証・取引実績・保証は検証資料に基づいて提示。

見積りに必要な情報

現場写真からご相談ください

全体と近接写真、面積、材質、操業条件を送付してください。受付番号とパスワードでお問い合わせと写真を確認できます。

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技術参考資料

一般的な技術参考資料であり、提携・施工資格・認証を意味しません。採用製品の資料と顧客手順に従い仕様を確定します。